近期，厦门市产业投资基金参股的国投厦钨基金（创合鑫材基金）投资厦门韫茂科技有限公司（以下简称“韫茂科技”），产业投资基金合作方红杉中国作为老股东再次加码。2018年，参股基金京道天琴基金在天使轮就发掘并投资了该项目，吸引创始人王韫宇从海外回国留厦创业。

韫茂科技是一家高端纳米级薄膜沉积装备制造企业，致力于将半导体行业的精密薄膜制造技术应用到新型显示、锂电池、光伏等领域。多年来，市产业投资基金协同多家参股基金为企业提供资金支持，陪伴和扶持企业成长，助力厦门半导体产业的核心技术创新和产业生态建设。

据了解，韫茂科技连续完成A+轮和B轮两轮融资，累计融资数亿元，引入新股东舜宇产业基金、创合鑫材（国投创合与厦钨产业基金）、国谦资本、长江证券下属的成长资本，利达，银杏谷资本、御道创投、老股东红杉中国继续增加了股份。这笔融资资金将用于技术研发，加快产品规模的量产。

厦门韫茂科技有限公司

厦门韫茂科技有限公司成立于2018年，公司致力于成为一家平台型的纳米级薄膜沉积装备制造企业。公司目前已推出12款产品，产品线包括ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD化学气相沉积系统、UHV超高真空镀膜装备等高端薄膜沉积设备。公司已经获得了39项专利授权，还有几十项专利正在审批中。原子层沉积（ALD）是韫茂科技的核心技术之一。公司核心技术是针对3D结构材料镀膜领域。ALD可以使材料以原子层为单位在材料表面进行生长，实现数字式的高精度控制。ALD在纳米级别的镀膜方面表现出色，其最大优势是能够填充并生长出均匀性较高的三维结构。与化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）相比，ALD能够在任何位置实现均匀的镀膜。PVD因为受到几何结构的影响，通常只能覆盖面对靶材一侧的样品表面，适用于平面镀膜。CVD镀膜可以覆盖各位置，但是表面各处生长沉积难以精准控制、镀膜厚度并不均匀。对于具有阶梯结构的表面，例如凹槽、孔隙等，ALD能够在每个层面实现接近100%的均匀覆盖。

但是ALD技术的沉积速度较慢，每层的生长时间较长，在工业大规模生产的节拍速度面临挑战。韫茂科技基于团队自身在半导体装备行业多年的技术积累，自主研发推出了新型批次型ALD装备，突破了ALD生产速度的问题，进而可以大幅降低生产成本。

作为薄膜沉积设备制造商，韫茂科技的核心技术能力体现在工艺和硬件设计两方面。在工艺方面，公司注重把控工艺过程、化学反应的最优参数。硬件设计方面则包括机械、自动化、电气、软件以及安全的设计能力。公司也通过虚拟仿真技术，从气流、气压、真空、温度、等离子体等多个维度对装备进行系统性的研发设计。

创新薄膜沉积技术应用领域，拓展新型显示、光伏、锂电等泛半导体领域，实现小批量出货

在下一代高清面板及VR/AR头显领域，特别是Micro OLED、Micro LED、Mini LED等新型显示屏量产方面，ALD薄膜沉积技术至关重要。

公司的ALD薄膜沉积技术可以为下一代背光及直显芯片实现超薄、均匀的保护薄膜沉积，提供封装保护，使其具备良好的阻水阻氧等防护能力。

公司研发的新型批次型CBATCH ALD装备可以批量处理新一代屏幕显示产品。其产能是同类装备产品的数倍，大幅降低客户COO。这将有力推动Mini/Micro LED/OLED行业实现量产突破，最终降低终端客户使用成本。

目前，公司CBATCH ALD创新的架构设计已获十几项专利授权，已成功进入国内头部光电芯片公司供应链，实现了小批量出货，后续将进入批量出货阶段。另外，公司自主知识产权的粉末ALD已导入多家头部客户。

瞄准新兴市场高端精密制造需求，推进产品技术平台化

综合来看，韫茂科技是将半导体行业的精密薄膜制造技术运用到新型显示、锂电、光伏、功率器件等领域，特别是针对能源领域产品和功率器件的精密生产制造。相较于半导体行业已经进展到几纳米的制造精度，目前泛半导体领域的制造精度有很大提升空间。

随着锂电、光伏行业近年来对产品性能的要求不断提升，电池企业、组件企业都希望将半导体领域的制造工艺技术运用到自身生产制造过程之中，形成更加精细化、甚至是参数化的制造控制。

韫茂科技看到了薄膜沉积技术在上述领域的应用前景，并围绕不同应用行业和场景开发了一系列的PVD、CVD、ALD装备产品，并通过研制出批次型的ALD装备实现技术创新突破。

从市场层面来看，一方面在传统半导体领域中国薄膜沉积设备国产化率仅有5%，95%依赖进口，存在国产替代的巨大空间。未来公司在12寸半导体布局，为国产半导体提供高质量的镀膜解决方案。

另一方面在锂电、光伏、新一代面板及头显、第三代半导体等新兴领域，薄膜沉积装备企业与国外装备企业处于同一起跑线，国内企业的技术水平更高、产品性能更好、迭代速度更快。

公司创始人王韫宇表示，公司目标是成为一家平台型薄膜沉积装备制造企业，围绕自身核心技术，在产品架构上更加多元化。这一点不同于其他垂直于细分领域的装备企业，这也有赖于公司团队在产品研发方面的技术积累。

团队方面，该公司核心团队成员为来自美国硅谷半导体设备公司的海归人才，包括斯坦福大学博士，在半导体设备领域拥有近20年工作经验。

创合鑫材投资团队表示：“薄膜沉积设备作为半导体、先进显示、新能源等领域必备的工艺设备，有广阔的市场空间和良好的发展契机。韫茂团队深耕行业多年，掌握精密薄膜制备技术，多领域产品已实现量产并获得客户认可。未来，韫茂将与上下游伙伴共同开拓市场，我们希望发挥创合鑫材在新材料和高端装备领域深耕的优势，为韫茂在产业链上下游赋能，见证企业进一步发展壮大。”

来源：36氪

国投厦钨基金（创合鑫材基金）

国投厦钨基金（创合鑫材基金）由厦门本地上市公司厦门钨业联合国家级政府引导基金管理机构国投创合共同发起设立，主要出资方包括国家制造业转型升级基金、军民融合发展产业投资、厦门市产业引导基金。基金总规模50亿，主要以股权投资方式投资于新材料领域，聚焦钨钼、稀土和新能源材料及上下游，已投恒坤新材、雅迅网络、中创新航等掌握关键核心技术的创新型企业。

京道天琴基金

参股基金京道天琴基金由厦门本土投资机构京道基金与继祥实业共同发起设立。主要出资方包括市产业引导基金、集美区产业引导基金及专业的社会投资人，基金规模3.14亿元，主要投资于软件信息、节能环保、新能源等国家新兴战略产业。已投资坚瑞沃能、好慷信息、韫茂科技、至恒融兴等创新型企业。